Где се користе силиконске плочице за полирање?

Полиране облатне су најшире коришћени производ, а остали производи од силицијумских вафла се производе секундарном обрадом на бази полираних облатни.
Полирана плочица је најосновнија силиконска плочица са најширим спектром примене. Полиране плочице се могу директно користити за израду полупроводничких уређаја и широко се користе у меморијским чиповима и енергетским уређајима. Такође се могу користити као материјали за подлогу за друге типове силицијумских плочица као што су епитаксијалне плочице и СОИ силиконске плочице.
Како карактеристична ширина линије интегрисаних кола наставља да се смањује, а прецизност фотолитографије постаје све финија, изузетно мале неравнине на силиконској плочи ће изазвати деформацију и дислокацију узорка интегрисаног кола. Технологија производње силицијумских плочица суочава се са све вишим захтевима и изазовима. Величина честица и чистоћа површине чипа такође имају директан утицај на принос полупроводничких производа.
Стога је процес полирања кључан за побољшање равности и чистоће површине силицијумске плочице. Главни принцип је изравнавање површине полупроводничке силиконске плочице и смањење храпавости уклањањем оштећеног слоја који остаје на обрађеној површини.