Класификација супстрата силицијум карбида

Према различитим електричним својствима, подлоге од силицијум карбида могу се поделити на два типа: полуизолационе подлоге од силицијум карбида и проводне подлоге од силицијум карбида. Полуизолационе подлоге од силицијум карбида се углавном користе за производњу радио фреквенцијских уређаја са галијум нитридом. Узгајањем епитаксијалног слоја галијум нитрида на полуизолационој подлози од силицијум карбида, производи се епитаксијална плочица на бази силицијум карбида, која се даље може користити за производњу радио фреквенцијских уређаја од галијум нитрида. Проводне подлоге од силицијум карбида се углавном користе у производњи енергетских уређаја. За разлику од традиционалног процеса производње силицијум карбидних уређаја, уређаји за напајање од силицијум карбида не могу се директно производити на подлогама од силицијум карбида. Неопходно је узгајати епитаксијални слој силицијум карбида на проводљивој подлози да би се добила епитаксијална плоча од силицијум карбида и производити различите врсте енергетских уређаја на епитаксијалном слоју. уређај.