Технологија припреме подлоге од силицијум карбида

Технологије припреме супстрата од силицијум карбида укључују ПВТ методу (метод физичког транспорта паре), методу раствора и методу хемијског таложења високотемпературне паре. Тренутно, комерцијални раст монокристала силицијум карбида користи ПВТ метод. Супстрат силицијум карбида користи угљени прах високе чистоће и силицијумски прах високе чистоће као сировине за синтезу праха силицијум карбида. Под посебним температурним пољем, метода преноса зреле физичке паре (ПВТ метода) се користи за узгој ингота силицијум карбида различитих величина и подвргавање електростатичкој обради. , сечење кристалних ингота, брушење вафла, полирање и чишћење итд. се израђују кроз вишеструке поступке обраде.