Ултра{0}}равне силиконске плочице

Ултра{0}}равне силиконске плочице

Ове ултра{0}}равне силиконске плочице су педантнепројектован да испуни строге захтеве за равномерност и дебљину, који служи као прва механичка референца за најзахтевније литографске чворове. Коришћењем напредног двоструког-бочног полирања (ДСП) и интерферометријске метрологије високе{2}}ласерске прецизности-, наше подлоге елиминишу геометријска изобличења која доводе до неуспеха у узорку. Ова архитектонска прецизност је основни захтев за одржавање конзистентне равни слике, којапомаже у побољшању приноса и стабилности процеса у напредним окружењима за производњу полупроводника.

Оптимизовано за литографску дубину-фокуса (ДОФ):Са{0}}водећим у индустријиВаријација укупне дебљине (ТТВ)и ултра-ниском равношћу локације (СФКР), ове плочице обезбеђују детерминистичку површину за системе високе-НА (нумеричке апертуре) експозиције. Ова геометријска верност обезбеђује да цела површина плочице остане у оквиру буџета критичног фокуса, минимизирајући замућење шаблона и значајно побољшавајући униформност ЦД (критичне димензије) нанометарских-структура капије.

Минимизиране грешке преклапања и изобличења:Посебно дизајниране за више-слојно 3Д слагање и напредно паковање, наше ултра-равне подлоге смањују механичко напрезање и „јастучасто“ изобличење током вакуумског учвршћивања. Ова побољшана равност омогућава супериорностпрецизност преклапања, обезбеђујући да су вертикалне интерконекције (ТСВ) и метални слојеви-на више нивоа усклађени са тачношћу испод-нанометара.

Супериорна механичка толеранција за аутоматизовано руковање:У складу са најстрожим СЕМИ стандардима, наше плочице имају прецизне{0}}брушене ивице и стриктно регулисане толеранције пречника. Ова-геометрија високе верности обезбеђује компатибилност без трења са-брзиним роботским руковањем и аутоматизованим алатима за хемијску{4}}механичку планаризацију (ЦМП), ефективно смањујући стопе лома и обезбеђујући поновљивост од-до-серије уВелика{0}}производња (ХВМ).

Popularne oznake: ултра-равне силицијумске плочице, Кина ултра-произвођачи, добављачи, фабрика ултра-равних силиконских плочица